| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZsFDuKxG/Cv45e |
| Repositório | sid.inpe.br/marciana/2004/06.18.16.33 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2017:08.16.14.30.39 (UTC) marciana |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/marciana/2004/06.18.16.33.30 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.01.28.40 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE-10735-PRE/6194 |
| ISBN/ISSN | 0925-9635 |
| ISSN | 0925-9635 |
| Chave de Citação | FerreiraCoraTravLeit:1998:GaPhSt |
| Título | Gas phase study with CF4 and CCl2F2 addition in microwave CVD diamond growth  |
| Ano | 1998 |
| Mês | feb. |
| Data de Acesso | 18 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 4275 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Ferreira, N. G. 2 Corat, Evaldo José 3 Trava-Airoldi, Vladimir Jesus 4 Leite, Nelia Ferreira |
| Grupo | 1 LAS-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Instituto Nacioanl de Pesquisas Espaciais - LAS 2 Universidade São Francisco - Itatiba |
| Revista | Diamond and Related Materials |
| Volume | 7 |
| Número | 2-5 |
| Páginas | 272-275 |
| Histórico (UTC) | 2017-05-14 01:44:11 :: administrator -> marciana :: 1998 2017-08-16 14:30:39 :: marciana -> administrator :: 1998 2018-06-05 01:28:40 :: administrator -> marciana :: 1998 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Palavras-Chave | gas phase CVD diamond microwave |
| Resumo | The effects of halogenated precursor associated with O-2 addition in the gas phase for diamond growth have been studied. Optical emission spectroscopy (OES) and exhaust gas mass spectrometry (MS) were used in a microwave plasma-assisted chemical vapor deposition (MWPACVD) reactor. The relative emission intensity of atomic hydrogen line H-alpha (656.3 nm) has been measured with CF4 and CCl2F2 concentrations in the range of 0-5%. Our results show an increase of atomic hydrogen concentration up to 80 and 200% when CF4 and CCl2F2 are added in the mixture, respectively. The input gases were chosen in order to discern the oxygen effects for mixtures with different concentrations of CF4 and CCl2F2. An additional increase of 50% H generation was observed when O-2 was added in the range of 0-3% for both mixtures with 3% of CF4 or CCl2F2. Mass spectrometry was used to analyze the dissociation process of CF4 and CCl2F2 associated with HF and HCl formation, These dissociation processes are correlated with the increase of atomic hydrogen concentration. For oxygen addition, CO formation is the main final product from the halocarbon. The higher thermodynamic stability of CO enables us to obtain a gas phase with a high concentration of atomic hydrogen and inhibits the formation of solid non-diamond carbon observed in mixtures with high halocarbon concentrations. (C) 1998 Published by Elsevier Science S.A. |
| Área | FISMAT |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Gas phase study... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | 10735.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator |
| Grupo de Leitores | administrator marciana |
| Visibilidade | shown |
| Detentor da Cópia | SID/SCD |
| Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; COMPENDEX. |
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyright creatorhistory descriptionlevel doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
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